雙色紅外探測(cè)器及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110672789.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113410329A 公開（公告）日 2021-09-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN113410329A 申請(qǐng)公布日 2021-09-17
分類號(hào) H01L31/101（2006.01）I;H01L31/109（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃勇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州晶歌半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孫偉峰;武岑飛
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城20號(hào)樓3層300-44工位（集群登記）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 提供了一種雙色紅外探測(cè)器，其包括襯底、中波通道接觸層、中波通道吸收層、中波通道勢(shì)壘層、中波連接層、長(zhǎng)波通道吸收層、長(zhǎng)波通道勢(shì)壘層、長(zhǎng)波通道接觸層、第一電極以及第二電極；中波通道接觸層、中波通道吸收層、中波通道勢(shì)壘層、中波連接層、長(zhǎng)波通道吸收層、長(zhǎng)波通道勢(shì)壘層以及長(zhǎng)波通道接觸層依序?qū)盈B設(shè)置于襯底上，第一電極與中波通道接觸層接觸，第二電極設(shè)置于長(zhǎng)波通道接觸層上。還提供了一種雙色紅外探測(cè)器的制作方法。在本發(fā)明的雙色紅外探測(cè)器及其制作方法中，采用了非對(duì)稱的結(jié)構(gòu)，即使長(zhǎng)波通道吸收層和中波連接層居中，中波通道吸收層和長(zhǎng)波通道勢(shì)壘層居于兩側(cè)，每個(gè)波段均采用最佳的異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)，保證了長(zhǎng)波和中波波段的性能最佳。