測量輔助裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822120434.1 申請日 -
公開（公告）號 CN209764018U 公開（公告）日 2019-12-10
申請公布號 CN209764018U 申請公布日 2019-12-10
分類號 G01B11/06（2006.01） 分類 測量；測試;
發(fā)明人 曾燕 申請（專利權(quán)）人 成都珠峰永明科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 成都珠峰永明科技有限公司
地址 610200 四川省成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)空港四路2002號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種測量輔助裝置，所述測量輔助裝置與用于測量大尺寸樣品的橢偏儀配合使用，所述測量輔助裝置包括基板和定位層，所述基板包括：基底層，所述基底層具有第一表面和第二表面；以及吸光層，所述吸光層具有第三表面和第四表面，其中，所述第四表面設(shè)置在所述第一表面上并與所述第一表面相對，所述定位層以可拆卸方式固定于所述吸光層上，其中，所述定位層的遠(yuǎn)離所述吸光層的一側(cè)的表面被劃分成多個(gè)單元格以定位待測量的多個(gè)小尺寸樣品。