一種具有泄壓功能的石英真空吸附裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110088218.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112922952A | 公開（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112922952A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-08 |
| 分類號(hào) | F16B47/00;F17D1/04;F17D1/065;F17D3/01;F17D5/00 | 分類 | 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱; |
| 發(fā)明人 | 胡龍輝 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 寧波云德半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州五洲普華專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 侯申飛 |
| 地址 | 315336 浙江省寧波市杭州灣新區(qū)華軒路161號(hào)數(shù)字經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)園28棟 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種具有泄壓功能的石英真空吸附裝置，包括真空吸盤、進(jìn)氣管、吹氣管、三通接頭、四通接頭和若干連接管，真空吸盤上設(shè)有氣孔，所述真空吸盤上設(shè)有環(huán)形凹槽，所述氣孔位于環(huán)形凹槽內(nèi)，所述真空吸盤外壁對(duì)應(yīng)氣孔位置處設(shè)有與氣孔相連通的接頭，所述進(jìn)氣管上設(shè)有真空發(fā)生器和吸氣控制開關(guān)，所述進(jìn)氣管和吹氣管均與氣泵相連，吹氣管上設(shè)有吹氣泄壓控制開關(guān)，所述四通接頭的四個(gè)連接端口均可拆卸連接有連接管，且其中三根連接管分別與相應(yīng)的接頭可拆卸連接，所述三通接頭分別與進(jìn)氣管、吹氣管和其中一根所述的連接管可拆卸相連。本發(fā)明具有通過(guò)吹氣有效泄壓便于石英產(chǎn)品的拿取，拆裝維護(hù)更換方便，真空吸附和吹氣泄壓控制便捷等優(yōu)點(diǎn)。 |
