一種晶圓加工用濕法清洗設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201922459023.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211587742U | 公開（公告）日 | 2020-09-29 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211587742U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-29 |
| 分類號(hào) | B08B3/10(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 鄭東來;繆小波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇嘉兆電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226100江蘇省南通市海門市臨江鎮(zhèn)洞庭湖路100號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種晶圓加工用濕法清洗設(shè)備，包括支架、清洗槽、放置框、連接桿、滑板、螺紋桿、固定板、升降電機(jī)、滑桿和晶圓架，支架頂部固定有清洗槽，清洗槽內(nèi)壁設(shè)有放置框，放置框兩側(cè)對(duì)稱固定有連接桿，放置框兩端的兩個(gè)連接桿一端固定有滑板，滑板中部開設(shè)有螺紋孔，螺紋孔內(nèi)壁螺紋連接有螺紋桿，且螺紋桿底部通過軸承與清洗槽底部轉(zhuǎn)動(dòng)連接，清洗槽內(nèi)壁頂部對(duì)稱固定有固定板，螺紋桿頂部通過軸承與固定板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，固定板中部固定有升降電機(jī)，且升降電機(jī)的輸出端與螺紋桿固定連接，滑板兩端通過導(dǎo)套對(duì)稱滑動(dòng)連接有滑桿，此晶圓加工用濕法清洗設(shè)備便于人們?nèi)》啪A架、且清洗效率較高，便于人們使用。?? |
