一種用于碳化硅晶片退火的裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123066641.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN216902811U | 公開（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216902811U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-05 |
| 分類號(hào) | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/324（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 賀賢漢;高攀;李有群;周杰;章磊;孫大方 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽微芯長(zhǎng)江半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 銅陵市天成專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 244000安徽省銅陵市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)西湖三路 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及碳化硅晶片技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種用于碳化硅晶片退火的裝置，包括：固定底座，固定底座的頂端固定連接有反應(yīng)倉(cāng)；循環(huán)結(jié)構(gòu)，反應(yīng)倉(cāng)的一端固定連接有循環(huán)結(jié)構(gòu)，且循環(huán)結(jié)構(gòu)包括傳動(dòng)電機(jī)；增壓結(jié)構(gòu)，反應(yīng)倉(cāng)內(nèi)部靠近循環(huán)結(jié)構(gòu)的一端固定連接有增壓結(jié)構(gòu)，且增壓結(jié)構(gòu)包括連接底板；啟閉結(jié)構(gòu)，反應(yīng)倉(cāng)遠(yuǎn)離循環(huán)結(jié)構(gòu)的一端固定連接有觀察窗，反應(yīng)倉(cāng)一端的底端設(shè)有儲(chǔ)料倉(cāng)，且儲(chǔ)料倉(cāng)和反應(yīng)倉(cāng)的連接處固定連接有啟閉結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型通過(guò)增壓結(jié)構(gòu)便于均勻穩(wěn)定的退火，退火的原理是通過(guò)加熱材料后降溫從而達(dá)到精煉材料的效果，降溫的方式有多種，傳統(tǒng)的風(fēng)冷和密封隔絕空氣使其自然冷卻的方式存在安全隱患。 |
