一種碳化硅產(chǎn)生用的籽晶片粘合裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123033086.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN216634944U 公開(kāi)（公告）日 2022-05-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN216634944U 申請(qǐng)公布日 2022-05-31
分類號(hào) B28D5/00（2006.01）I;B28D7/00（2006.01）I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 李有群;高攀;賀賢漢;章磊;周杰;孫大方 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽微芯長(zhǎng)江半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 銅陵市天成專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 244000安徽省銅陵市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)西湖三路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及碳化硅技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種碳化硅產(chǎn)生用的籽晶片粘合裝置，包括機(jī)體和固定安裝在機(jī)體內(nèi)側(cè)的收集箱，還包括旋轉(zhuǎn)支撐機(jī)構(gòu)、夾持機(jī)構(gòu)、下壓機(jī)構(gòu)、上膠機(jī)構(gòu)、刮膠機(jī)構(gòu)和刮平機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)支撐機(jī)構(gòu)固定安裝在收集箱內(nèi)部，本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置有刮膠機(jī)構(gòu)和刮平機(jī)構(gòu)，當(dāng)膠水滴落在晶片頂部，打開(kāi)電動(dòng)升降套桿使電動(dòng)升降套桿帶動(dòng)刮板上下移動(dòng)至合適高度，使刮板與晶片之間保持合適的間距，再打開(kāi)絲桿滑臺(tái)使絲桿滑臺(tái)的滑動(dòng)塊帶動(dòng)刮板進(jìn)行移動(dòng)，使刮板將晶片頂部的膠水進(jìn)行刮平，使膠水可以更加均勻的鋪設(shè)在晶片的頂部，膠水的分布更加的均勻，可以有效的防止在粘合過(guò)程中產(chǎn)生氣泡，導(dǎo)致后續(xù)籽晶片的脫落，有效的提升了裝置的粘合效果。