一種用于碳化硅晶體生長用的風(fēng)冷箱結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220525283.1 申請日 -
公開（公告）號 CN216891320U 公開（公告）日 2022-07-05
申請公布號 CN216891320U 申請公布日 2022-07-05
分類號 C30B23/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 章磊;李有群;賀賢漢;董志勇;吳寒;顧雪龍 申請（專利權(quán)）人 安徽微芯長江半導(dǎo)體材料有限公司
代理機構(gòu) 銅陵市天成專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 244000安徽省銅陵市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)西湖三路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于碳化硅晶體生長用的風(fēng)冷箱結(jié)構(gòu)，包括箱體，所述箱體的頂端鉸接有蓋體，且箱體的一側(cè)外壁設(shè)置有散熱窗口，并且箱體的另一側(cè)外壁安裝有風(fēng)扇，所述箱體的內(nèi)壁固定設(shè)置有六組固定板，兩個所述固定板的內(nèi)側(cè)設(shè)置有用以夾持的夾持組件，且兩個所述固定板的內(nèi)側(cè)設(shè)置有限位組件，所述限位組件用以對所述夾持組件定位，所述箱體的內(nèi)部設(shè)置有與其滑動配合的支撐板，該一種用于碳化硅晶體生長用的風(fēng)冷箱結(jié)構(gòu)，通過多組第一夾板與第二夾板在固定架內(nèi)活動，方便對不同直徑的坩堝進行夾持隔開，且通過雙向絲桿帶動壓板壓緊進行第一夾板和第二夾板的擠壓，從而將多個坩堝豎直隔開放置，提高散熱效果。