一種多晶硅反應(yīng)器沉積載體

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122333856.9 申請日 -
公開（公告）號 CN215668290U 公開（公告）日 2022-01-28
申請公布號 CN215668290U 申請公布日 2022-01-28
分類號 C30B28/14（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 郭榮;徐巖;曹得財;陳文凱;張藝鐘 申請（專利權(quán)）人 陜西有色天宏瑞科硅材料有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 張一軍;李陽
地址 719208陜西省榆林市佳縣工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多晶硅反應(yīng)器沉積載體，包括橋架和兩根硅芯；其中，所述橋架兩端分別設(shè)置有鉆孔，并且在每個鉆孔所在端部的頂端設(shè)置倒角；所述硅芯的一端部呈錐形，并且兩根硅芯分別通過呈錐形的端部搭接至所述橋架兩端的鉆孔中。該實施方式能夠解決多晶硅生產(chǎn)成品率低的問題。