一種液相生長碳化硅的籽晶軸及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610505971.0 申請日 -
公開（公告）號 CN106012021B 公開（公告）日 2019-04-12
申請公布號 CN106012021B 申請公布日 2019-04-12
分類號 C30B29/36;C30B15/32 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 朱燦;王曉;宋建;李斌 申請（專利權）人 山東天岳晶體材料有限公司
代理機構 濟南千慧專利事務所（普通合伙企業(yè)） 代理人 吳紹群
地址 250100 山東省濟南市高新區(qū)新宇路西側世紀財富中心AB座1106-6-01
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種液相生長碳化硅的籽晶軸及方法，屬于碳化硅生長技術領域。本發(fā)明所述的籽晶軸包括石墨軸，在石墨軸的下端連接有石墨軸帽；所述的石墨軸帽為中空結構。本發(fā)明解決了傳統(tǒng)生長方法高速生長帶來的多型、包裹體和應力等問題，可方便的調控溫度梯度，使晶體既保證生長速度的同時，又能保證晶體質量。