一種液相生長碳化硅籽晶軸裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610462617.4 申請日 -
公開（公告）號 CN105970294B 公開（公告）日 2018-10-19
申請公布號 CN105970294B 申請公布日 2018-10-19
分類號 C30B29/36;C30B15/32 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 朱燦;王曉;宋建;張亮 申請（專利權(quán)）人 山東天岳晶體材料有限公司
代理機構(gòu) 濟南舜源專利事務(wù)所有限公司 代理人 苗峻
地址 250118 山東省濟南市槐蔭區(qū)美里湖美里路中段
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種液相生長碳化硅籽晶軸裝置，屬于新材料制造領(lǐng)域。其包括順次可拆卸連接的運動連接部、阻熱部和石墨臺，所述石墨臺的另一端連接有籽晶，所述的阻熱部為熱導(dǎo)率小于石墨熱導(dǎo)率且不與硅蒸汽發(fā)生反應(yīng)的阻熱材料，所述的籽晶可以為方形、圓形或多邊形等，所述的石墨臺的形狀與所述籽晶的形狀相同，且尺寸不小于籽晶尺寸，所述的阻熱部徑向尺寸不小于運動連接部和石墨臺的徑向尺寸，或所述的阻熱部徑向尺寸不大于運動連接部和石墨臺的徑向尺寸，所述阻熱部的兩端為內(nèi)螺紋結(jié)構(gòu)，與所述阻熱部連接的運動連接部和石墨臺為外螺紋結(jié)構(gòu)，或所述阻熱部的兩端為外螺紋結(jié)構(gòu)，與所述阻熱部連接的運動連接部和石墨臺為內(nèi)螺紋結(jié)構(gòu)。