一種高純碳化硅粉料的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710019523.4 申請日 -
公開（公告）號 CN106698436B 公開（公告）日 2018-10-19
申請公布號 CN106698436B 申請公布日 2018-10-19
分類號 C01B32/977 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 高超;宗艷民;朱燦;李加林;李長進(jìn) 申請（專利權(quán)）人 山東天岳晶體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 代理人 趙斌;苗峻
地址 250100 山東省濟(jì)南市高新區(qū)新宇路西側(cè)世紀(jì)財(cái)富中心AB座1106-6-01室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于新材料加工技術(shù)領(lǐng)域，發(fā)明人提供了一種全新的高純碳化硅粉料的制備方法，該方法以高純度硅烷和高純度碳粉為原料，搭配使用對應(yīng)的多孔石墨坩堝和石墨托盤組，在惰性氣體的保護(hù)下可以獲得高純度的碳化硅粉料；采用這種方法，避免了其他物質(zhì)帶入的雜質(zhì)，通過純石墨制備的器具進(jìn)行反應(yīng)，在保證純度的同時達(dá)到了碳化硅粉料生產(chǎn)所需的條件，為高純度碳化硅粉料的生產(chǎn)提供了一種全新的路徑，填補(bǔ)了現(xiàn)有技術(shù)的空白。