一種低濃度高測(cè)量精度的氮氧傳感器陶瓷芯片

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110420449.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113125542A 公開（公告）日 2021-07-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN113125542A 申請(qǐng)公布日 2021-07-16
分類號(hào) G01N27/407;G01N27/41 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 皇曉輝;郝軍朋;陸克軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 連云港感瓷電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 連云港聯(lián)創(chuàng)專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 劉剛
地址 222000 江蘇省連云港市東?？h高新技術(shù)開發(fā)區(qū)光明路38號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種低濃度高測(cè)量精度的氮氧傳感器陶瓷芯片，包括第一功能層，第一功能層的底部設(shè)有第二功能層，第二功能層的底部設(shè)有第三功能層，第三功能層的底部設(shè)有第四功能層，第四功能層的底部設(shè)有第五功能層，第五功能層的底部設(shè)有第六功能層，第一功能層的頂部一端固定連接有上引腳電極，第六功能層的底部相對(duì)上引腳電極的位置固定連接有下引腳電極，本發(fā)明的有益效果：通過加熱器的方阻設(shè)計(jì)滿足了氮氧傳感器芯片對(duì)溫度的要求；通過主泵電極面積設(shè)計(jì)提高了主泵、輔助泵、測(cè)量泵的泵能能力；通過獨(dú)立的測(cè)量空腔設(shè)計(jì)、進(jìn)氣通道的擴(kuò)散障設(shè)計(jì)、各信號(hào)電極的絕緣設(shè)計(jì)等實(shí)現(xiàn)了低氮氧濃度下，使其具有較高的測(cè)量精度。