一種單晶爐加熱系統(tǒng)的控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110453315.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113136620A 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN113136620A 申請公布日 2021-07-20
分類號 C30B15/20;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 武絢麗;孫須良;顏玉峰 申請（專利權）人 曲靖晶龍電子材料有限公司
代理機構 上海華誠知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 徐穎聰
地址 655000 云南省曲靖市曲靖經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)光伏一號路以東、南海大道以南
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種單晶爐加熱系統(tǒng)的控制方法，包括步驟S1，獲取單晶爐內(nèi)液體的預定位置處的亮度值；步驟S2，根據(jù)所述亮度值控制所述加熱系統(tǒng)。根據(jù)本發(fā)明實施例的單晶爐加熱系統(tǒng)的控制方法，無需SP參與控制，通過單晶爐內(nèi)液體的亮度值來代替測溫，避免通過人工判定來調(diào)節(jié)SP值，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)溫度的準確調(diào)節(jié)，且降低對工作人員的操作要求，進一步提高單晶爐調(diào)溫過程的自動化程度以及穩(wěn)溫效果。