一種光刻膠及其制備方法和應(yīng)用以及光刻方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811265920.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109212919B 公開(kāi)（公告）日 2022-02-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN109212919B 申請(qǐng)公布日 2022-02-08
分類(lèi)號(hào) G03F7/42（2006.01）I 分類(lèi) 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 肖楠;宋里千 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 泓坤微電子（廈門(mén)）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門(mén)市精誠(chéng)新創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 賴秀華
地址 363000 福建省漳州高新區(qū)九湖鎮(zhèn)林前村林前773號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體及集成電路領(lǐng)域，公開(kāi)了一種光刻膠及其制備方法和應(yīng)用以及光刻方法。所述光刻膠含有樹(shù)脂和光致產(chǎn)酸劑，所述樹(shù)脂由20?45wt％的單元單體Ⅰ、35?65wt％的單元單體Ⅱ、10?30wt％的單元單體Ⅲ共聚而成，所述單元單體Ⅰ、單元單體Ⅱ和單元單體Ⅲ的結(jié)構(gòu)分別如式（1）、式（2）和式（3）所示。本發(fā)明提供的光刻膠能夠提高光刻膠與襯底表面的粘附性，并加快光刻膠曝光的速率、降低光刻反應(yīng)能量、降低光刻膠被刻蝕的速率或者降低顯影時(shí)繼續(xù)發(fā)生反應(yīng)的概率，實(shí)現(xiàn)光刻膠與襯底表面間沒(méi)有空洞或缺口，在填充到深溝槽底部后仍然能夠被完全顯影，襯底圖形表面仍然被光刻膠完全覆蓋。