一種磁懸浮分子泵位移傳感器的檢測(cè)工裝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021676665.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212512960U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212512960U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-09 |
| 分類號(hào) | G01B21/02(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 陳林;劉強(qiáng);張亮;任世瑜 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京中科九微科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京三聚陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 秦廣成 |
| 地址 | 101111北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)科創(chuàng)十四街99號(hào)33幢D棟2層2167號(hào)(集中辦公區(qū)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供的一種磁懸浮分子泵位移傳感器的檢測(cè)工裝，屬于檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括：XYZ移動(dòng)平臺(tái)，安裝在底板上；測(cè)試件固定架，連接在XYZ移動(dòng)平臺(tái)上，具有用于連接測(cè)試件的伸出端和可拆卸地豎直連接在所述伸出端上的連接桿；測(cè)試件，連接在所述連接桿的底端；所述測(cè)試件具有：底部平面和弧形側(cè)壁面；或者，所述測(cè)試件包括:第一測(cè)試件和第二測(cè)試件，所述第一測(cè)試件具有底部平面，所述第二測(cè)試件具有側(cè)壁弧形面；本實(shí)用新型的磁懸浮分子泵位移傳感器的檢測(cè)工裝，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，測(cè)量精準(zhǔn)，可反復(fù)使用，在同一個(gè)工裝下，只需更換測(cè)試件，即可實(shí)現(xiàn)不同傳感器的測(cè)量。?? |
