一種分子泵機(jī)組及真空系統(tǒng)檢漏方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010929724.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111999014A | 公開（公告）日 | 2020-11-27 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111999014A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-27 |
| 分類號(hào) | G01M3/26(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 蘇長明;任世瑜;鄧高飛;孫靈豪;齊英;陳林 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京中科九微科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京三聚陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 北京中科九微科技有限公司 |
| 地址 | 102600北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)科創(chuàng)十四街99號(hào)33幢D棟2層2167號(hào)(集中辦公區(qū)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種分子泵機(jī)組及真空檢漏方法，其中，分子泵機(jī)組包括前級(jí)泵及分子泵、前級(jí)真空計(jì)、高真空計(jì)、機(jī)組控制器；前級(jí)真空計(jì)設(shè)置于真空管路上，用于測量前級(jí)泵開啟時(shí)的前級(jí)壓強(qiáng)；高真空計(jì)設(shè)置于真空室上，用于測量分子泵開啟時(shí)的真空室壓強(qiáng)；機(jī)組控制器用于根據(jù)前級(jí)壓強(qiáng)和真空室壓強(qiáng)檢測分子泵機(jī)組所在的真空系統(tǒng)是否存在漏氣故障。通過實(shí)施本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)漏氣故障的自檢測，無需使用額外的儀器，使得對(duì)分子泵機(jī)組漏氣故障的檢查更簡單快捷。?? |
