分光曝光系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023045894.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214067574U 公開(kāi)（公告）日 2021-08-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN214067574U 申請(qǐng)公布日 2021-08-27
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 郭黨委;胡雅文;吳明倉(cāng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東思沃激光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 張艷美;毛偉碧
地址 523000廣東省東莞市松山湖園區(qū)研發(fā)一路1號(hào)104房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種分光曝光系統(tǒng)，包括DMD微反射鏡、分光鏡、反射鏡、第一成像組件及第二成像組件，DMD微反射鏡、分光鏡及第一成像組件由上往下依次設(shè)置，分光鏡的鏡面呈傾斜設(shè)置，反射鏡于水平方向與分光鏡鄰設(shè)，反射鏡的鏡面與分光鏡的鏡面平行，第二成像組件位于反射鏡的正下方。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的分光曝光系統(tǒng)借助分光鏡及反射鏡的配合，從而將DMD微反射鏡上的畫面分兩路投影在工作臺(tái)上，起到了兩個(gè)DMD微反射鏡同時(shí)工作的效果，使得曝光面得到兩倍面積的圖像，一方面節(jié)省了成本及安裝空間，另一方面提高了曝光的效率。