一種硅片裝片機(jī)用防腐蝕清洗槽

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820080863.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209189382U 公開（公告）日 2019-08-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN209189382U 申請(qǐng)公布日 2019-08-02
分類號(hào) B08B3/10（2006.01）I; B08B3/12（2006.01）I; B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 張志康; 羅濤; 孫文璐 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江西寶群電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 330000 江西省南昌市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)高新七路192號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種硅片裝片機(jī)用防腐蝕清洗槽。目前市場上的清洗槽大多用的是316L不銹鋼槽或者耐酸堿的PP槽加不銹鋼蓋和不銹鋼軸類傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，仍免不了會(huì)受酸堿的腐蝕，效果不是很好。本實(shí)用新型涉及一種硅片裝片機(jī)用防腐蝕清洗槽，其中：純水通過PP進(jìn)純水管流入PP清洗槽本體，酸堿液通過PP進(jìn)液管流入PP清洗槽本體中，兩者混合成溶液，對(duì)硅片進(jìn)行清洗，流入的溶液可以通過PP筒形過濾網(wǎng)和PP排水管進(jìn)行排空，也可通過PP外槽過濾網(wǎng)和PP排水管進(jìn)行溢流排出。本裝置采用這種防腐蝕清洗槽裝置，實(shí)現(xiàn)對(duì)厚度為130μm～200μm，規(guī)格為125/156單晶、多晶硅片，進(jìn)行全功能高速全自動(dòng)化的清洗，同時(shí)通過安裝耐酸堿的FEP鼓泡軟管、純鈦特氟龍加熱管和PP包裝的超聲波發(fā)生器。