一種OLED顯示器晶圓圖的測(cè)試方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110337659.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113034474A | 公開（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113034474A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-25 |
| 分類號(hào) | G06T7/00;G06T7/11;G06K9/32;G06K9/38;G06T5/00;G06T5/40;G06T7/136;H01L21/66;H01L27/32 | 分類 | 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù); |
| 發(fā)明人 | 王鑫鑫;嚴(yán)華寧;粘為進(jìn) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫美科微電子技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥方舟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 朱榮 |
| 地址 | 214000 江蘇省無錫市錫山經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)萬全路30號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種OLED顯示器晶圓圖的測(cè)試方法。本發(fā)明中，采用型號(hào)為MantaG?917B的黑白工業(yè)千兆網(wǎng)相機(jī)，具有900萬像素分辨率。根據(jù)晶圓成像區(qū)域視野大小寬約3mm，傳感器裝置的尺寸寬12.8mm，以及成像要求，所以選擇4倍遠(yuǎn)心放大鏡頭，C型接口的工業(yè)遠(yuǎn)心鏡頭進(jìn)行拍攝；之后通過多種處理方式對(duì)內(nèi)部晶圓圖案輪廓進(jìn)行仿射變換，剪裁區(qū)域后分區(qū)域作不同閾值分割和形態(tài)學(xué)處理，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)點(diǎn)狀缺陷、線狀缺陷、面狀缺陷、大面積污染缺陷、缺角缺陷的缺陷檢測(cè)與缺陷標(biāo)記，同時(shí)也簡(jiǎn)化了復(fù)雜的操作流程，方便了后續(xù)的工作人員對(duì)晶圓進(jìn)行檢測(cè)，各種圖像的預(yù)處理技術(shù)提高了圖像處理的清晰度從而使得后續(xù)的測(cè)試過程結(jié)果更加具有準(zhǔn)確性和真實(shí)性。 |
