一種便于控制的氫氟酸蒸汽刻蝕硅裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201822076589.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209537632U 公開（公告）日 2019-10-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN209537632U 申請(qǐng)公布日 2019-10-25
分類號(hào) C23F1/08（2006.01）I; C23F1/12（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳訓(xùn)海 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 福建省順昌富寶騰達(dá)化工有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市科吉華烽知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 福建省順昌富寶騰達(dá)化工有限公司
地址 353200 福建省南平市順昌縣大干鎮(zhèn)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種便于控制的氫氟酸蒸汽刻蝕硅裝置，包括箱體，所述儲(chǔ)液瓶的出液端安裝有導(dǎo)流管，所述導(dǎo)流管套接于導(dǎo)氣管的內(nèi)側(cè)，所述導(dǎo)氣管和導(dǎo)流管的端側(cè)均安裝有擋板，所述擋板的中部均勻等距開設(shè)有通孔，所述擋板的側(cè)部安裝有滑槽，所述滑槽的內(nèi)部活接有滑塊，所述滑塊的上部安裝有電動(dòng)推桿，所述滑塊的上部安裝有卡塊，所述電加熱器安裝于儲(chǔ)液瓶的下部，所述箱體的下部安裝有排液管，所述排液管的下部安裝有收集箱，所述收集箱的側(cè)部安裝有噴嘴，所述收集箱的側(cè)部安裝有水泵。本實(shí)用新型簡(jiǎn)便的調(diào)節(jié)氫氟酸蒸汽噴入后與硅襯板的接觸部位，達(dá)到有效的刻蝕，同時(shí)，有效的實(shí)現(xiàn)刻蝕后氫氟酸蒸汽的處理，避免影響環(huán)境。