晶圓測(cè)試方法、晶圓測(cè)試裝置以及晶圓測(cè)試系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201810862873.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN108983072B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108983072B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01R31/28 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 劉宏志 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 無(wú)錫韋感半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京成創(chuàng)同維知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 蔡純;張靖琳 |
| 地址 | 214000 江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)菱湖大道111號(hào)無(wú)錫軟件園天鵝座C棟5樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種晶圓測(cè)試方法，包括：將待測(cè)晶圓上的管芯分成管芯組；向其中的多個(gè)管芯組提供激勵(lì)信號(hào)；獲得所述多個(gè)管芯組的測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)；以及根據(jù)所述多個(gè)管芯組的測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)獲得每個(gè)管芯的測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)，其中，所述多個(gè)管芯組執(zhí)行多路測(cè)試返回所述測(cè)試結(jié)果數(shù)據(jù)。通過(guò)分組能夠使得基于現(xiàn)有的測(cè)試機(jī)在一定時(shí)間內(nèi)多路測(cè)試更多的管芯，節(jié)省了測(cè)試時(shí)間和測(cè)試成本。本申請(qǐng)同時(shí)提供一種晶圓測(cè)試裝置和晶圓測(cè)試系統(tǒng)。 |
