一種緩沖腔和晶圓傳送系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022655692.7 申請日 -
公開（公告）號 CN213242506U 公開（公告）日 2021-05-18
申請公布號 CN213242506U 申請公布日 2021-05-18
分類號 H01L21/67;H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 邱勇;孫曉東 申請（專利權(quán)）人 上海訊穎電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201306 上海市浦東新區(qū)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種緩沖腔和晶圓傳送系統(tǒng)，緩沖腔包括：位于第一緩沖腔室主體中的若干層第一冷卻盤，第一冷卻盤包括第一晶圓接觸區(qū)；位于第一晶圓接觸區(qū)側(cè)部且貫穿第一冷卻盤的第一位移口；第一升降單元，第一升降單元包括位于第一支撐組件，第一支撐組件適于支撐晶圓的邊緣，第一支撐組件適于在第一位移口的上方、第一位移口中、以及第一位移口的下方做往復(fù)運(yùn)動(dòng)；貫穿底層的第一冷卻盤的第一探測通道；第一溫度探測裝置，第一溫度探測裝置朝向所述第一探測通道或者延伸至第一探測通道中。所述緩沖腔能夠?qū)A的冷卻降溫過程進(jìn)行監(jiān)視和實(shí)時(shí)反饋，有效提升了冷卻效率和傳送能力。