一種腔內(nèi)晶圓尋心系統(tǒng)及其工作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | 2020112845165 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112259487A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-01-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112259487A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-22 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 邱勇;孫曉東 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海訊穎電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種腔內(nèi)晶圓尋心系統(tǒng)及其工作方法，腔內(nèi)晶圓尋心系統(tǒng)包括：主體腔；位于所述主體腔內(nèi)的晶圓支撐平臺(tái)；位于所述晶圓支撐平臺(tái)側(cè)部且貫穿所述主體腔的底壁的若干位移孔；分別位于所述位移孔中的頂針，所述頂針包括頂針本體和限位部；位于所述主體腔的底部的頂針位置調(diào)節(jié)件，所述頂針位置調(diào)節(jié)件適于控制頂針至所述晶圓支撐平臺(tái)的中心軸之間的距離，所述頂針位置調(diào)節(jié)件還適于控制所述頂針在所述位移孔中沿縱向往復(fù)移動(dòng)。所述腔內(nèi)晶圓尋心系統(tǒng)能夠精確定位晶圓在主體腔中的位置，提高工藝重復(fù)性。?? |
