一種半導體加工用清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011620408.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112827930A 公開（公告）日 2021-05-25
申請公布號 CN112827930A 申請公布日 2021-05-25
分類號 B08B3/10;B08B3/04;B08B3/14;B08B1/04;B08B1/00;B08B13/00;F26B21/00 分類 清潔;
發(fā)明人 孫曉東 申請（專利權）人 上海訊穎電子科技有限公司
代理機構 上海微策知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 張靜
地址 202150 上海市崇明區(qū)長興鎮(zhèn)潘園公路1800號2號樓5791室（上海泰和經濟發(fā)展區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導體加工用清洗裝置，包括底座、烘干箱和固定盒，所述底座的頂部安裝有烘干箱，所述烘干箱的一側安裝有出風口，所述烘干箱的另一側安裝有固定盒，且固定盒的一側貫穿烘干箱的內壁，所述底座的頂部安裝有固定桿，所述固定桿的頂部安裝有連接桿，所述連接桿的一側安裝有安裝架，所述安裝架的內部安裝有第一電機，所述第一電機的輸出端安裝有第一旋轉軸，所述第一旋轉軸的一端安裝有清洗倉，所述清洗倉的一側安裝有第二旋轉軸，所述第二旋轉軸的一端安裝有安裝板。本發(fā)明通過在底座的頂部安裝有烘干裝置，可以使烘干箱內的半導體進行烘干，從而可以使半導體可以更加快速的將水分烘干，從而可以提高工作效率。