一種反應腔裝置及其工作方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011496224.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112447488A | 公開（公告）日 | 2021-03-05 |
| 申請公布號 | CN112447488A | 申請公布日 | 2021-03-05 |
| 分類號 | H01J37/32(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 邱勇;孫曉東 | 申請（專利權(quán)）人 | 上海訊穎電子科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)環(huán)湖西二路888號C樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種反應腔裝置及其工作方法，反應腔裝置包括：反應腔主體；位于所述反應腔主體內(nèi)的晶圓承載平臺，所述晶圓承載平臺的表面適于放置晶圓；環(huán)繞所述晶圓承載平臺的緩沖環(huán)，所述緩沖環(huán)適于延長反應源粒子沿著晶圓表面向外橫向運動的路徑。所述反應腔裝置能夠調(diào)節(jié)晶圓表面的反應速率的均勻性。?? |
