隧道場效應晶體管及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011295454.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112397581B 公開（公告）日 2022-06-10
申請公布號 CN112397581B 申請公布日 2022-06-10
分類號 H01L29/739（2006.01）I;H01L21/331（2006.01）I;H01L29/15（2006.01）I;H01L29/10（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孔繁生;周華 申請（專利權）人 光華臨港工程應用技術研發(fā)（上海）有限公司
代理機構 上海盈盛知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 201306上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種隧道場效應晶體管及其制作方法。所述隧道場效應晶體管包括：襯底表面垂直設置的源極和漏極，以及源極和漏極之間導電溝道區(qū)；導電溝道區(qū)外圍由內向外環(huán)繞設置柵氧化層和柵極；所述導電溝道區(qū)的材料為窄帶超晶格材料。