一種大尺寸硅片的表面清潔裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021983299.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213103522U 公開(kāi)（公告）日 2021-05-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN213103522U 申請(qǐng)公布日 2021-05-04
分類號(hào) B08B3/02;B08B3/14;B08B1/00 分類 清潔;
發(fā)明人 蔡焱鋒;李偉;雍麗娟;吳國(guó)輝;賀斌華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杞縣東磁新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都其高專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 廖曾
地址 475000 河南省開(kāi)封市杞縣葛崗鎮(zhèn)楚寨村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及硅片技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種大尺寸硅片的表面清潔裝置，包括清潔裝置主體，所述清潔裝置主體包括處理箱，所述處理箱的內(nèi)部設(shè)置有控制機(jī)構(gòu)，所述控制機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的一側(cè)與處理箱的內(nèi)壁連接，所述伺服電機(jī)的輸出端連接有絲桿，所述絲桿的表面螺紋安裝有空心移動(dòng)桿，所述空心移動(dòng)桿的頂端設(shè)置有毛刷，所述伺服電機(jī)的輸出端纏繞有履帶，所述處理箱兩側(cè)的內(nèi)壁上通過(guò)轉(zhuǎn)軸設(shè)置有放置板，所述放置板的頂端設(shè)置有夾持桿，所述夾持桿的一側(cè)開(kāi)設(shè)有放置槽。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置有固定板和滾輪，毛刷在移動(dòng)的同時(shí)，滾輪在固定板上滾動(dòng)，給毛刷的移動(dòng)提供支撐，提高了裝置在使用時(shí)的穩(wěn)定性。