一種用于光刻機(jī)對準(zhǔn)曝光工序的物鏡切換裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620109028.3 申請日 -
公開（公告）號 CN205539929U 公開（公告）日 2016-08-31
申請公布號 CN205539929U 申請公布日 2016-08-31
分類號 G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 沈顯勇 申請（專利權(quán)）人 合肥亞歌半導(dǎo)體科技合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機(jī)構(gòu) 合肥天明專利事務(wù)所 代理人 合肥亞歌半導(dǎo)體科技合伙企業(yè)（有限合伙）;合肥芯碁微電子裝備有限公司
地址 230088 安徽省合肥市高新區(qū)天智路20號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種用于光刻機(jī)對準(zhǔn)曝光工序的物鏡切換裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比解決了高、低倍物鏡切換不便的缺陷。本實(shí)用新型的高倍物鏡系統(tǒng)安裝在工作臺(tái)上且位于左反射鏡A和左反射鏡B之間，右雙面反射鏡設(shè)有右反射鏡A和右反射鏡B，低倍物鏡系統(tǒng)安裝在工作臺(tái)上且位于右反射鏡A和右反射鏡B之間，運(yùn)動(dòng)滑臺(tái)上安裝有四面反射棱柱，四面反射棱柱上設(shè)有反射面A、反射面B、反射面C和反射面D，反射面A與左反射鏡A相平行，反射面B與左反射鏡B相平行，反射面C與右反射鏡A相平行，反射面D與右反射鏡B相平行。本實(shí)用新型能夠方便地進(jìn)行高倍物鏡與低倍物鏡的切換，只進(jìn)行導(dǎo)光而不進(jìn)行分光，整個(gè)光路能量損失小。