一種用于半導(dǎo)體無掩膜直寫曝光設(shè)備的吸盤定位裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620109029.8 申請日 -
公開（公告）號 CN205539930U 公開（公告）日 2016-08-31
申請公布號 CN205539930U 申請公布日 2016-08-31
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 沈顯勇 申請（專利權(quán)）人 合肥亞歌半導(dǎo)體科技合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機構(gòu) 合肥天明專利事務(wù)所 代理人 張祥騫;奚華保
地址 230088 安徽省合肥市高新區(qū)天智路20號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種用于半導(dǎo)體無掩膜直寫曝光設(shè)備的吸盤定位裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比解決了吸盤定位銷釘更換困難、定位襯底尺寸兼容性差的缺陷。本實用新型的滑槽A上安裝有定位塊組件A，滑槽B上均安裝有定位塊組件B，定位塊組件A與定位塊組件B兩者結(jié)構(gòu)相同；所述的定位塊組件A包括定位滑塊和緊定螺釘，定位滑塊活動安裝在滑槽A上且與滑槽A構(gòu)成滑動配合，緊定螺釘安裝在定位滑塊上，定位滑塊的上表面高于吸盤組件的上表面。本實用新型能夠適用于所有標準尺寸襯底及非標襯底的吸盤定位，且定位調(diào)節(jié)更加簡便。