一種用于光刻機(jī)矢量數(shù)據(jù)柵格化的三角形填充方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610083101.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105741337A 公開（公告）日 2016-07-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN105741337A 申請(qǐng)公布日 2016-07-06
分類號(hào) G06T11/40(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 沈顯勇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 合肥亞歌半導(dǎo)體科技合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機(jī)構(gòu) 合肥天明專利事務(wù)所 代理人 合肥亞歌半導(dǎo)體科技合伙企業(yè)（有限合伙）;合肥芯碁微電子裝備有限公司
地址 230088 安徽省合肥市高新區(qū)天智路20號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于光刻機(jī)矢量數(shù)據(jù)柵格化的三角形填充方法，與現(xiàn)有技術(shù)相比解決了三角形填充速度慢的缺陷。本發(fā)明包括以下步驟：三角形預(yù)處理，對(duì)三角形進(jìn)行線段拆分分組；計(jì)算相同Y值下的X點(diǎn)的坐標(biāo)值，針對(duì)線段集合Z中的線段分組進(jìn)行并行處理，均計(jì)算出相同Y值下X點(diǎn)的坐標(biāo)值；數(shù)據(jù)填充，對(duì)線段集合Z中的線段分組進(jìn)行并行填充處理。本發(fā)明通過FPGA技術(shù)實(shí)現(xiàn)三角形的填充，提高了填充速度，從而提高直寫光刻機(jī)的產(chǎn)能。