一種異質(zhì)結(jié)電池的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210306227.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114725239A 公開（公告）日 2022-07-08
申請公布號 CN114725239A 申請公布日 2022-07-08
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L31/20（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 周肅;龔道仁;徐曉華;張良;張景 申請（專利權(quán)）人 安徽華晟新能源科技有限公司
代理機構(gòu) 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 242000安徽省宣城市宣城經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)安徽省宣城經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)科技園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種異質(zhì)結(jié)電池的制備方法，該方法包括：提供半導體襯底層，在所述半導體襯底層至少一側(cè)形成摻雜非晶硅膜；對所述摻雜非晶硅膜在富氧條件下進行晶化處理，使所述摻雜非晶硅膜形成摻雜微晶硅膜。本發(fā)明的異質(zhì)結(jié)電池的制備方法中，摻雜微晶硅膜由摻雜非晶硅膜晶化后形成，采用沉積非晶硅膜而后再微晶化的方式，其設(shè)備成本相對于直接沉積微晶硅膜的設(shè)備成本較低，且非晶硅膜晶化工藝簡單，可顯著降低生產(chǎn)成本。