一種離軸式MEMS微鏡及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110176090.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112965240A 公開（公告）日 2021-06-15
申請公布號 CN112965240A 申請公布日 2021-06-15
分類號 G02B26/08（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I;B81B5/00（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 徐乃濤;程進;孫其梁;李宋澤 申請（專利權(quán)）人 無錫微視傳感科技有限公司
代理機構(gòu) 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 聶啟新
地址 213400江蘇省無錫市錫山二泉東路集智廣場14層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種離軸式MEMS微鏡及其制備方法，涉及微機電技術(shù)領(lǐng)域，包括第一微鏡、第二微鏡、第一固定梳齒、第二固定梳齒、驅(qū)動電極，第一微鏡和第二微鏡以轉(zhuǎn)軸為軸同步轉(zhuǎn)動，第一微鏡用于入射激光的掃描反射，第二微鏡用于同步接收反射激光，驅(qū)動電極提供驅(qū)動電壓；兩個微鏡的動梳齒之間以及分別與兩個固定梳齒形成第一垂直梳齒對、第二垂直梳齒對和第三垂直梳齒對，第一垂直梳齒對、第二垂直梳齒對分別為第一微鏡和第二微鏡提供順時針方向偏轉(zhuǎn)的驅(qū)動力，第三垂直梳齒對為第一微鏡和第二微鏡提供逆時針方向偏轉(zhuǎn)的驅(qū)動力，通過制造垂直梳齒對結(jié)構(gòu)間的電勢差使兩個微鏡在某個周期段相互吸引、不再獨立控制，實現(xiàn)完全同頻、同相位的偏轉(zhuǎn)狀態(tài)。