基于MEMS的非等間距梳齒結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023278014.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214011635U 公開（公告）日 2021-08-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN214011635U 申請(qǐng)公布日 2021-08-20
分類號(hào) G02B26/08（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 孫其梁;徐乃濤;程進(jìn);張?zhí)硖?/td> 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無錫微視傳感科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 聶啟新
地址 213400江蘇省無錫市錫山二泉東路集智廣場(chǎng)14層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了基于MEMS的非等間距梳齒結(jié)構(gòu)，涉及微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域，包括圍繞轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的上梳齒結(jié)構(gòu)以及位于上梳齒結(jié)構(gòu)下方的下梳齒結(jié)構(gòu)，上梳齒結(jié)構(gòu)包括若干個(gè)間隔設(shè)置的可動(dòng)梳齒，且越遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)軸可動(dòng)梳齒的梳齒間隙逐漸增大，下梳齒結(jié)構(gòu)包括若干個(gè)等間隔設(shè)置的固定梳齒，可動(dòng)梳齒與固定梳齒沿梳齒布置方向交錯(cuò)設(shè)置、互不接觸，且可動(dòng)梳齒的下邊緣與固定梳齒的上邊緣齊平，每個(gè)可動(dòng)梳齒與其相鄰右側(cè)的固定梳齒的水平間距均不相等，根據(jù)水平間距設(shè)定值，對(duì)非等間距梳齒結(jié)構(gòu)施加電壓時(shí)，可動(dòng)梳齒運(yùn)動(dòng)至對(duì)應(yīng)的相鄰固定梳齒間隙時(shí)，每個(gè)可動(dòng)梳齒的中心點(diǎn)均保持在對(duì)應(yīng)的相鄰固定梳齒間隙的中軸線上。因此不會(huì)出現(xiàn)異常吸合，保證MEMS器件的可靠性。