一種超大角度電磁驅動微鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110388029.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112904553B 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN112904553B 申請公布日 2021-12-14
分類號 G02B26/08（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 程進;徐乃濤;孫其梁;李宋澤;隋明達 申請（專利權）人 無錫微視傳感科技有限公司
代理機構 無錫華源專利商標事務所（普通合伙） 代理人 聶啟新
地址 213400江蘇省無錫市錫山二泉東路集智廣場14層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種超大角度電磁驅動微鏡，涉及微機電系統(tǒng)技術領域，包括微鏡以及設于微鏡兩側的新型磁體結構、驅動線圈和錨點，微鏡通過兩個對稱的扭轉梁分別連接錨點的一側，錨點的另一側通過扭轉梁連接微鏡的硅基板，錨點用于固定微鏡；驅動線圈設置在微鏡兩側的硅基板上，每側的新型磁體結構圍繞驅動線圈設置，用于產生與驅動線圈運動軌跡相切的輻射狀磁場；驅動線圈外接電源時，使作用于硅基板上的扭轉力矩方向相同，微鏡通過硅基板傳遞的扭轉力矩以扭轉梁為軸發(fā)生偏轉。該結構能夠在小電流下得到更大的偏轉角度，減低了功率；且偏轉時磁場強度不變，驅動線圈的電磁力只沿扭轉力矩方向，并與驅動電流呈線性關系，可控性高。