一種低溫探針臺清針砂紙的更換裝置和更換方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210276338.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114346873A 公開（公告）日 2022-06-24
申請公布號 CN114346873A 申請公布日 2022-06-24
分類號 B24B27/033;B24B55/00;G01R3/00 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 劉朋;聞國濤;關(guān)姜維;雷慶汪;劉清華 申請（專利權(quán)）人 南京偉測半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州裕晟知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 王宇飛
地址 210000 江蘇省南京市浦口區(qū)浦口經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)雙峰路69號C-93
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種低溫探針臺清針砂紙的更換裝置，包括設(shè)置在探針臺機(jī)臺內(nèi)的中轉(zhuǎn)倉，所述中轉(zhuǎn)倉的前側(cè)設(shè)置有開設(shè)在探針臺機(jī)臺前壁上的前門，所述中轉(zhuǎn)倉的后側(cè)開設(shè)有后門，所述中轉(zhuǎn)倉內(nèi)設(shè)置有用于轉(zhuǎn)移清針板的搬運(yùn)裝置；本發(fā)明還涉及一種低溫探針臺清針砂紙的更換方法，通過在探針臺機(jī)臺內(nèi)隔離出一個中轉(zhuǎn)過渡空間，更換的清針砂紙在換到托架上前先在中轉(zhuǎn)過渡空間內(nèi)靜置，待溫度與探針臺機(jī)臺內(nèi)的低溫一致后再開放中轉(zhuǎn)過渡空間與探針臺機(jī)臺內(nèi)部連通，之后對當(dāng)前使用的清針砂紙進(jìn)行更換；本發(fā)明的裝置和方法在更換清針砂紙時避免了直接開啟探針臺機(jī)臺前門導(dǎo)致的大量的低溫?fù)p失，降低了測試風(fēng)險、減少誤測，提高了測試效率。