一種全方位檢測晶舟盒內(nèi)晶圓的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210299267.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114400190B 公開（公告）日 2022-06-10
申請公布號 CN114400190B 申請公布日 2022-06-10
分類號 H01L21/66（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊恭乾;路峰;陳天翼 申請（專利權(quán)）人 南京偉測半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州裕晟知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 210000江蘇省南京市浦口區(qū)浦口經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)雙峰路69號C-93
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種全方位檢測晶舟盒內(nèi)晶圓的裝置，包括能夠放置不同尺寸晶舟盒的放置平臺，通過支撐桿固定在放置平臺上側(cè)的頂部攝像組件；放置平臺上呈正方形布置有四個側(cè)方攝像組件，所述側(cè)方攝像組件包括攝像平臺，攝像平臺上設(shè)置有側(cè)方攝像機(jī)，所述攝像平臺能夠驅(qū)動側(cè)方攝像機(jī)移動；四個側(cè)方攝像組件之間交錯布置有卡扣，卡扣能夠向著或遠(yuǎn)離所述放置平臺的中心處移動，以對不同尺寸的晶舟盒進(jìn)行固定；側(cè)方攝像組件一側(cè)設(shè)置有掃碼槍；頂部攝像機(jī)、點(diǎn)位攝像機(jī)、側(cè)方攝像機(jī)、掃碼槍均連接至MES系統(tǒng)處理中心；本發(fā)明通過圖像識別技術(shù)，對晶舟盒內(nèi)的晶圓擺放情況進(jìn)行全方位的自動檢測，提高晶圓生產(chǎn)過程中的安全性，降低次品率。