一種半導(dǎo)體測試頭結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121609555.8 申請日 -
公開（公告）號 CN215180660U 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN215180660U 申請公布日 2021-12-14
分類號 G01R31/26（2014.01）I;F25D31/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李義霖;任彬;鄭東;楊文寶;石家全;李永奇 申請（專利權(quán)）人 天津金海通半導(dǎo)體設(shè)備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津企興智財知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蔣宏洋
地址 300384天津市濱海新區(qū)華苑產(chǎn)業(yè)區(qū)物華道8號A106
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體測試頭結(jié)構(gòu)，包括溫控頭及其上方安裝的雙層流道，雙層流道包括制熱層和制冷層，制熱層內(nèi)部設(shè)有制熱通道，制熱通道的兩側(cè)分別設(shè)有制熱流道入口和制熱流道出口，制冷層內(nèi)部設(shè)有制冷通道，制冷通道的兩側(cè)分別設(shè)有制冷流道出口和制冷流道入口，制熱流道入口、制熱流道出口、制冷流道出口和制冷流道入口處分別設(shè)有一個電磁閥，溫控頭和每個電磁閥均信號連接至外部的控制器。本實(shí)用新型所述的半導(dǎo)體測試頭結(jié)構(gòu)，在外部輸出功率相同時，能加速流體在流道內(nèi)的流速，加快載溫介質(zhì)的傳遞速率，給測試頭提供充足的制冷及制熱量，當(dāng)我們需要低溫時，可關(guān)閉高溫通道，需要高溫時可關(guān)閉制冷通道，大大提高了能源利用率。