一種自調(diào)節(jié)封堵門檢測(cè)芯片平整的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111625304.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113976460A 公開（公告）日 2022-01-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113976460A 申請(qǐng)公布日 2022-01-28
分類號(hào) B07C5/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 李星星;呂克振;楊文寶;方勇;張勝春 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 天津金海通半導(dǎo)體設(shè)備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津企興智財(cái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳雅潔
地址 300384天津市濱海新區(qū)華苑產(chǎn)業(yè)區(qū)物華道8號(hào)A106
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種自調(diào)節(jié)封堵門檢測(cè)芯片平整的裝置，包括底板，底板上方垂直安裝進(jìn)口側(cè)板，進(jìn)口側(cè)板進(jìn)料側(cè)的中線處安裝氣缸，氣缸的活動(dòng)端固定連接至閘門連接塊，閘門連接塊下方通過銷釘與閘門連接，使得閘門能夠相對(duì)于銷釘上下浮動(dòng)以及轉(zhuǎn)動(dòng)，閘門連接塊靠近進(jìn)口側(cè)板的固定安裝柱塞架，柱塞架上對(duì)稱設(shè)有彈簧柱塞，閘門左右兩端對(duì)稱安裝隨動(dòng)輪，且隨動(dòng)輪延伸出閘門的底部，進(jìn)口側(cè)板出料側(cè)的兩端對(duì)稱安裝傳感器，且傳感器的高度可調(diào)，氣缸和傳感器均信號(hào)連接至外部的控制器。本發(fā)明所述的自調(diào)節(jié)封堵門檢測(cè)芯片平整的裝置，設(shè)置的閘門、閘門連接塊和銷釘可根據(jù)上料盤平面的傾斜度自適應(yīng)調(diào)節(jié)傾斜角度，以達(dá)到良好的密封效果。