紅外光學(xué)材料均勻性測(cè)試的試樣面形誤差的控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811219047.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109406107B 公開(kāi)（公告）日 2020-02-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN109406107B 申請(qǐng)公布日 2020-02-14
分類號(hào) G01M11/02 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 麥綠波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中國(guó)兵器工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究所
代理機(jī)構(gòu) 中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)公司專利中心 代理人 王雪芬
地址 100089 北京市海淀區(qū)車道溝10號(hào)院
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及紅外光學(xué)材料均勻性測(cè)試的試樣面形誤差的控制方法，涉及紅外光學(xué)材料均勻性測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明通過(guò)建立紅外光學(xué)材料均勻性測(cè)試試樣面形誤差與測(cè)試原理和測(cè)試精度要求的計(jì)算關(guān)系，將紅外測(cè)試波段的試樣面形誤差的波前波差影響轉(zhuǎn)換為可見(jiàn)光條件下加工和檢驗(yàn)的試樣面形誤差關(guān)系，并通過(guò)建立相關(guān)的算法公式進(jìn)行數(shù)值計(jì)算，創(chuàng)建了紅外光學(xué)材料短波、中波、長(zhǎng)波波段均勻性測(cè)試精度保證的試樣面形誤差控制的數(shù)值表格，并進(jìn)一步計(jì)算給出了紅外光學(xué)材料短波、中波、長(zhǎng)波波段均勻性測(cè)試精度保證的試樣面形誤差控制的用例表。本發(fā)明可為紅外短波波段、中波波段和長(zhǎng)波波段的光學(xué)材料均勻性測(cè)試精度保證提供試樣面形誤差控制的具體數(shù)值。