一種多級干式真空泵的水冷系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200810013020.7 申請日 -
公開（公告）號 CN101660532A 公開（公告）日 2010-03-03
申請公布號 CN101660532A 申請公布日 2010-03-03
分類號 F04C29/04(2006.01)I;F04B39/06(2006.01)I 分類 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 王光玉;秦柏林;房偉;郭麗娟 申請（專利權(quán)）人 中科儀（南通）半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司;中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司;中科儀（南通）半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司
地址 110168遼寧省沈陽市渾南新區(qū)新源街1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種多級干式真空泵的水冷系統(tǒng)。包括進(jìn)水管路、出水管路，冷卻水經(jīng)進(jìn)水管路流入，進(jìn)水管路分為兩路，一路冷卻水進(jìn)入進(jìn)水管路冷卻干泵排氣口易發(fā)熱部位軸承板，冷卻水在內(nèi)部循環(huán)后經(jīng)出水管路流出；另一路冷卻水進(jìn)入進(jìn)水管路，進(jìn)入多級干泵的電機(jī)進(jìn)行冷卻，然后進(jìn)入增壓泵的電機(jī)，從電機(jī)流出后一路在增壓泵上進(jìn)行冷卻，最后經(jīng)排水管路流出，另一路直接接入出水管路。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)為：1.本發(fā)明對兩個電機(jī)同時冷卻，對增壓泵和多級干泵可以選擇冷卻；2.本發(fā)明采用水流量計來控制進(jìn)水流量大小并可自動報警；3.本發(fā)明通過電磁閥自動控制；4.本發(fā)明在管路上設(shè)置有兩位三通閥，可選擇是否對增壓泵進(jìn)行水冷。