一種機臺防過腐裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120358242.3 申請日 -
公開(公告)號 CN215404541U 公開(公告)日 2022-01-04
申請公布號 CN215404541U 申請公布日 2022-01-04
分類號 C23F4/00(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 孫人杰;王友偉 申請(專利權(quán))人 愛特微(張家港)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 王巍巍
地址 215600江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)新豐東路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種機臺防過腐裝置,其技術(shù)方案要點是:包括工作腔,所述工作腔上部安裝有氣泵腔和控制器,所述氣泵腔上安裝有氣泵電機,所述氣泵電機通過輸風(fēng)管連接有電磁閥,所述工作腔內(nèi)安裝有橫桿和豎桿,所述橫桿的頂部連接有連接管,所述橫桿和所述豎桿上均設(shè)有若干組氣流導(dǎo)口,所述豎桿的底部連接有支撐底座,所述支撐底座內(nèi)部連接有調(diào)節(jié)柱,所述調(diào)節(jié)柱上焊接有調(diào)節(jié)螺環(huán),所述調(diào)節(jié)柱的頂部設(shè)有第一螺紋部,所述第一螺紋部連接在所述豎桿的內(nèi)部,所述第一螺紋部的頂端連接有密封橡膠墊;利用裝置可以對工作腔內(nèi)部進行氮氣沖入,并且便于對防腐架進行支撐調(diào)節(jié),以及能夠便于對氮氣進行輸送。