一種抗靜電半導(dǎo)體芯片切割保護(hù)膜

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110106256.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112795323A 公開(kāi)（公告）日 2021-05-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN112795323A 申請(qǐng)公布日 2021-05-14
分類號(hào) C09J7/24;C09J7/30;C09J7/50;C09J133/04;C09J9/02;C09D175/04;C09D5/24;C09D183/04;C08J7/044;C08L27/06 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 陸揚(yáng);景海全 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東莞市清鴻新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京瑞盛銘杰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 黃淑娟
地址 523843 廣東省東莞市長(zhǎng)安鎮(zhèn)長(zhǎng)安長(zhǎng)青南路1號(hào)8棟4106室02室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了芯片切割保護(hù)膜技術(shù)領(lǐng)域，具體領(lǐng)域?yàn)橐环N抗靜電半導(dǎo)體芯片切割保護(hù)膜，包括抗靜電離型涂層、PVC藍(lán)膜，藍(lán)膜保護(hù)底涂和抗靜電亞克力膠層，具有柔韌性好，耐高溫，易于晶圓擴(kuò)晶、晶圓切割，在擴(kuò)晶和切割中能消除摩擦產(chǎn)生的靜電，其中藍(lán)膜保護(hù)底涂的設(shè)置，能夠一定程度上防止PVC藍(lán)膜中增塑劑析出滲入膠層，提高PVC藍(lán)膜耐高溫和耐溶劑性，且使PVC藍(lán)膜不易收縮，抗靜電亞克力膠層剝離強(qiáng)度穩(wěn)定且耐高溫180℃，抗靜電。使用PVC藍(lán)膜能醒目、有效識(shí)別該保護(hù)膜，方便使用。本發(fā)明保護(hù)膜，總厚度為80±2um，剝離強(qiáng)度為100±20gf/inch，不殘膠，抗靜電阻值106～109Ω，離型力20gf/inch。