一種四氯化硅尾氣直冷回收裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201922423968.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211513970U | 公開（公告）日 | 2020-09-18 |
| 申請公布號 | CN211513970U | 申請公布日 | 2020-09-18 |
| 分類號 | B01D53/00(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 張輝俊;羅全安;何壽林 | 申請（專利權(quán)）人 | 武漢新硅科技潛江有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 武漢今天智匯專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 武漢新硅科技潛江有限公司 |
| 地址 | 433100湖北省潛江市潛江經(jīng)濟開發(fā)區(qū)鹽化一路西37號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種四氯化硅尾氣直冷回收裝置，包括裝有液體四氯化硅的冷卻吸收罐和通過循環(huán)泵連接用于冷卻冷卻吸收罐內(nèi)液體四氯化硅的制冷機組；還包括尾氣分配臺和與尾氣分配臺連通的熱交換罐，熱交換罐內(nèi)裝有低溫的液體四氯化硅，熱交換罐頂部設(shè)有氣相四氯化硅出口與冷卻吸收罐頂部的氣相四氯化硅入口連通，冷卻吸收罐底部設(shè)有液體四氯化硅出口與熱交換罐連通，熱交換罐與液體四氯化硅收集罐連通，冷卻吸收罐頂部還設(shè)有四氯化硅尾氣出口。本實用新型將四氯化硅尾氣直接輸入回收裝置，經(jīng)制冷機組和熱交換罐冷卻后，尾氣中四氯化硅從氣相轉(zhuǎn)變?yōu)橐合?，液態(tài)四氯化硅回收利用，減少尾氣排放與處理量，降低尾氣處理成本，回收效率高。?? |
