化學(xué)氣相沉積設(shè)備及其手盤(pán)斜度自動(dòng)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121041057.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215163126U 公開(kāi)（公告）日 2021-12-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN215163126U 申請(qǐng)公布日 2021-12-14
分類(lèi)號(hào) C23C16/54（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 魏桂忠;侯志義;霍曉陽(yáng) 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 河北普興電子科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 石家莊國(guó)為知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 代理人 李榮文
地址 050200河北省石家莊市鹿泉經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)昌盛大街21號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備及其手盤(pán)斜度自動(dòng)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，手盤(pán)斜度自動(dòng)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括機(jī)械手和調(diào)節(jié)組件，其中，機(jī)械手包括：移動(dòng)本體；手桿，一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接于移動(dòng)本體；手盤(pán)，連接于手桿的另一端；以及偏心軸系，其周向輪廓抵接于手桿的周向輪廓；調(diào)節(jié)組件包括：驅(qū)動(dòng)電機(jī)，設(shè)于移動(dòng)本體，且連接于偏心軸系；以及控制器，與驅(qū)動(dòng)電機(jī)通信連接，且用以?xún)?nèi)置于或外置于化學(xué)氣相沉積設(shè)備，控制器控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)偏心軸系旋轉(zhuǎn)以使手桿處于目標(biāo)斜度。上述手盤(pán)斜度自動(dòng)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了手桿及手盤(pán)斜度的自動(dòng)調(diào)整，能夠在裝取片的過(guò)程中，自動(dòng)地調(diào)整偏心軸系的旋轉(zhuǎn)角度，無(wú)需停機(jī)，兼容地協(xié)調(diào)手盤(pán)斜度和片子表面缺陷之間的矛盾。