碳化硅外延設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123346517.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216514256U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216514256U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-13 |
| 分類號(hào) | C30B25/16（2006.01）I;C30B25/12（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 楊龍;吳會(huì)旺;李召永;白春杰;李偉峰;張國(guó)良;袁肇耿;薛宏偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 河北普興電子科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 石家莊國(guó)為知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 | 代理人 | - |
| 地址 | 050200河北省石家莊市鹿泉經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)昌盛大街21號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種碳化硅外延設(shè)備，所述碳化硅外延設(shè)備包括殼體、加熱器、基座、測(cè)距儀以及控制器；所述殼體設(shè)有透視結(jié)構(gòu)，所述加熱器位于所述殼體內(nèi)，具有用于吹浮所述基座的氣道；所述基座包括可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述加熱器頂部的基座本體以及與所述基座本體連接的檢測(cè)柱體，所述檢測(cè)柱體具有待檢測(cè)面；所述測(cè)距儀通過(guò)所述透視結(jié)構(gòu)，實(shí)時(shí)檢測(cè)所述待檢測(cè)面到所述測(cè)距儀的水平最短距離；所述控制器與所述測(cè)距儀電性連接，用于接收信號(hào)并根據(jù)所述待檢測(cè)面到所述測(cè)距儀的水平最短距離的變化量計(jì)算所述基座的豎直位移。本實(shí)用新型提供的碳化硅外延設(shè)備達(dá)到對(duì)基座進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控的目的。 |
