用于金屬掩膜板的金屬箔材的制備方法及金屬掩膜板的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111108320.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113909494A 公開（公告）日 2022-01-11
申請公布號 CN113909494A 申請公布日 2022-01-11
分類號 B22F10/28（2021.01）I;B22F10/64（2021.01）I;B22F5/00（2006.01）I;B22F10/66（2021.01）I;B33Y10/00（2015.01）I;B33Y40/20（2020.01）I;B33Y80/00（2015.01）I;B33Y70/00（2020.01）I;C21D8/02（2006.01）I;C21D1/74（2006.01）I;C22C38/08（2006.01）I;C22C38/10（2006.01）I;C22C38/40（2006.01）I;C22C38/02（2006.01）I;C22C38/04（2006.01）I;C22C38/30（2006.01）I;C23C14/04（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I;H01L51/56（2006.01）I;B23P15/00（2006.01）I 分類 鑄造；粉末冶金;
發(fā)明人 陳鼎國 申請（專利權(quán)）人 寰采星科技（寧波）有限公司
代理機構(gòu) 寧波誠源專利事務(wù)所有限公司 代理人 馮曉蘭;周銀銀
地址 315174浙江省寧波市海曙區(qū)高橋鎮(zhèn)秀豐路八方集團園區(qū)A幢3樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于金屬掩膜板的金屬箔材的制備方法，其特征在于包括以下制備步驟：1）金屬粉末配備：所述金屬粉末為不銹鋼、鎳合金、鈦合金、鋁合金、鐵鎳合金、鐵鎳錳、鐵鎳鈷合金、鐵鈷鉻中的一種；2）激光熔敷：a、先鋪設(shè)一層金屬粉末在基板上；b、激光熔敷后在熔覆層上方再鋪設(shè)一層金屬粉末，再激光熔敷；重復(fù)b過程加工成厚度5μm～5mm的金屬箔坯；每層金屬粉末的鋪設(shè)厚度為0.8～300μm，激光熔敷時所需激光能量為50～500W，激光能量密度為10～350J/mm3，掃描速度為50～5000mm/秒；3）第一次熱處理：在干燥的惰性氛圍或者還原氛圍或者真空環(huán)境下對得到的金屬箔坯進行熱處理，然后將金屬箔坯與基板分離、繞卷。