全應變測量式原位納米壓/劃痕測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210413791.1 申請日 -
公開（公告）號 CN102928308B 公開（公告）日 2014-07-09
申請公布號 CN102928308B 申請公布日 2014-07-09
分類號 G01N3/42;G01N3/46;G01N3/02;G01N3/06 分類 測量；測試;
發(fā)明人 黃虎;趙宏偉;史成利;萬順光 申請（專利權）人 長春中機試驗設備有限公司
代理機構 吉林長春新紀元專利代理有限責任公司 代理人 王怡敏
地址 130000 吉林省長春市高新區(qū)硅谷大街1118號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種全應變測量式原位納米壓/劃痕測試裝置，屬于電一體化的精密科學儀器領域。包括宏動調(diào)整機構、精密壓入單元、載荷與位移信號檢測單元以及劃痕驅(qū)動單元，所述宏動調(diào)整機構安裝在基座上；精密壓入單元通過過渡連接板連接在宏動調(diào)整機構的x向滑臺上；載荷與位移信號檢測單元包含二組八片應變片，通過內(nèi)嵌的方式分別安裝在精密壓入單元的載荷檢測用柔性鉸鏈和x向柔性鉸鏈上；劃痕驅(qū)動單元通過螺釘與基座相連接。采用內(nèi)置的應變片進行信號檢測，使得整個測試裝置結構緊湊、體積小，便于整個測試裝置安裝于掃描電子顯微鏡（SEM）或X射線衍射儀等載物臺上實現(xiàn)材料的原位壓痕、劃痕測試，為研究材料的損傷機制提供技術支持。