一種四氯化硅氫化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510479284.1 申請日 -
公開（公告）號 CN106395832A 公開（公告）日 2017-02-15
申請公布號 CN106395832A 申請公布日 2017-02-15
分類號 C01B33/107(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 夏高強(qiáng);劉建海;劉興平;鄭寶剛;周迎春 申請（專利權(quán)）人 北京銀行股份有限公司烏魯木齊分行
代理機(jī)構(gòu) 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 新特能源股份有限公司
地址 830011 新疆維吾爾自治區(qū)烏魯木齊國家級高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)（新市區(qū)）甘泉堡高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種四氯化硅氫化方法，其包括：1)將外來氫氣和外來四氯化硅氣體加熱至第一預(yù)設(shè)溫度；2)將外來硅粉及加熱至第一預(yù)設(shè)溫度的氫氣和四氯化硅氣體通入第一反應(yīng)器，并發(fā)生冷氫化反應(yīng)；3)將第一反應(yīng)器的出口尾氣冷卻至第二預(yù)設(shè)溫度；4)將外來硅粉和冷卻至第二預(yù)設(shè)溫度的出口尾氣通入第二反應(yīng)器，并發(fā)生三氯氫硅合成反應(yīng)；5)對第二反應(yīng)器的出口尾氣進(jìn)行分離處理，對分離出的氫氣和四氯化硅氣體進(jìn)行加熱處理以使其加熱至第一預(yù)設(shè)溫度后返回至步驟2)，以及將分離出的三氯氫硅氣體和少量的二氯二氫硅氣體送至下游工序。本發(fā)明所述四氯化硅氫化方法既不需要設(shè)計(jì)復(fù)雜的反應(yīng)器，又能提高現(xiàn)有三氯氫硅產(chǎn)率和現(xiàn)有四氯化硅單程轉(zhuǎn)化率。