用于半導(dǎo)體測(cè)試的定位清潔裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021591971.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212905020U | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212905020U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號(hào) | G01R1/04(2006.01)I;B08B5/02(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 盧紅平;趙云峻;張鴻;盧發(fā)生 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海泰睿思微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海唯源專利代理有限公司 | 代理人 | 汪家瀚 |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)蘆潮港路1758號(hào)1幢18641室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種用于半導(dǎo)體測(cè)試的定位清潔裝置，包括中空結(jié)構(gòu)的定位塊(1)，定位塊的一個(gè)面上形成有與產(chǎn)品結(jié)構(gòu)相匹配的定位槽(11)，定位塊安裝在測(cè)試座(2)上，使定位槽位于測(cè)試探針(21)的上方；定位塊的側(cè)部形成有進(jìn)氣孔(12)并外接供氣設(shè)備，定位塊的另一個(gè)面上形成有面向測(cè)試探針的吹氣孔(13)，進(jìn)氣孔、定位塊的中空腔體和吹氣孔形成吹氣通道。本實(shí)用新型能通過定位槽對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行定位，確保產(chǎn)品引腳與測(cè)試探針的接觸可靠性和精確性，同時(shí)能在產(chǎn)品測(cè)試間隙通過吹氣通道對(duì)測(cè)試探針上的臟污進(jìn)行吹掃清潔，確保連續(xù)、有效生產(chǎn)，避免測(cè)試探針頻繁清洗的問題，減少降低維護(hù)時(shí)間，提高測(cè)試良率和生產(chǎn)效率。?? |
