一種半導(dǎo)體發(fā)光元件及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202080007340.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN113228310A 公開(kāi)(公告)日 2021-08-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN113228310A 申請(qǐng)公布日 2021-08-06
分類(lèi)號(hào) H01L33/20(2010.01)I;H01L33/22(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I;H01L21/02(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 林宗民;黃苡叡;張中英;鄧有財(cái) 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 泉州三安半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 362343福建省泉州市南安市石井鎮(zhèn)院前村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種LED芯片及其制作方法,通過(guò)激光減薄LED芯片的襯底,然后進(jìn)行隱形切割將芯片分離開(kāi)。所述LED芯片的襯底背面具有激光減薄襯底過(guò)程中形成的粗化結(jié)構(gòu)。本發(fā)明可解決現(xiàn)有化學(xué)機(jī)械研磨工藝減薄透明襯底厚度至小于80μm時(shí)出現(xiàn)的翹曲嚴(yán)重,邊緣崩邊引起的破片問(wèn)題;同時(shí)所述LED芯片的襯底表面具有激光減薄襯底過(guò)程形成的粗化結(jié)構(gòu),可增強(qiáng)出光,提升發(fā)光亮度。